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半导体行业专用仪器

薄膜应力测量仪

薄膜应力及基底翘曲测量设备,广泛应用于半导体行业薄膜应力的量测。在硅晶圆或者其他材料基底上附着薄膜,由于衬底于薄膜的物理常数不同,将会产生应力而导致衬底基板形变。

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产品详情

薄膜应力及基底翘曲测量设备,广泛应用于半导体行业薄膜应力的量测。在硅晶圆或者其他材料基底上附着薄膜,由于衬底于薄膜的物理常数不同,将会产生应力而导致衬底基板形变。由于均匀附着的薄膜引起的形变表现为基板翘曲,因此,可依据翘曲(曲率半径)的变化量计算应力。
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