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电话:010-61509982
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半导体行业专用仪器
薄膜应力及基底翘曲测量设备,广泛应用于半导体行业薄膜应力的量测。在硅晶圆或者其他材料基底上附着薄膜,由于衬底于薄膜的物理常数不同,将会产生应力而导致衬底基板形变。
咨询电话 :010-61509982
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