混合压电陶瓷气浮主动隔振系统

    混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统对现有光学平台的振动隔离技术进行了极大改善。通常,光学平台是由低频气动隔振系统支撑。虽然对于高频的隔离非常有效,但是实际上被动系统在1-3HZ范围内会放大振动。
    主动隔振技术通过将压电陶瓷制动器和惯性振动传感器结合的专利技术来消除而不是放大低频振动，成功地克服了这些局限。混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统综合了气浮和主动隔振这两种技术组成一个完整的振动消除系统。由于两种隔离系统的串联,使此技术的振动隔离范围从非常低的频率到前所未有的高频。
    混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统顶部的气浮部分是模块化的、可替换的。它可以是空气隔振中气浮隔振支腿，或者高阻尼隔振气浮隔离支腿,甚至可以是刚性支腿,这取决于实际应用的需求。
 
产品特性：
■ 采用专利主动隔振技术
■ 主动惯性消振系统
■ 消振从低于1 Hz开始
■ 加长行程的压电致动器，高达60微米。
■ 6个主动自由度
■ 由两个串联隔振系统组成，可实现最佳隔振效果
■ 采用专利高阻尼空气隔振器
■ 简单、坚固且经济高效
■ 可选的搁板，用于在工作台下方安装设备
■ 包括TMC的DC-2020数字控制器
 


 
    将低频、被动高阻尼空气隔振器与压电主动消振系统串联在一起，可得到整体传递率曲线，即两条单独传递率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显著，在某些频率范围内，我们受到测量仪器噪声基底的限制。并且无法测量和演示完整的隔振性能。也就是说，在10-12 Hz以上，组合系统的实际性能预计将超过所示性能，因为组合隔振理论上是两个子系统所提供的隔振的总和。