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光学平台隔振系统

主动压电陶瓷隔振平台

主动压电陶瓷隔振平台，它是以自定义、低姿态的版本，使得电镜距地面的高度更近，同时它拥有与标准的主动压电隔振平台相同的地面隔振性能。集成工具底部框架模拟VC-C（500uin

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产品详情

主动压电陶瓷隔振平台，它是以自定义、低姿态的版本，使得电镜距地面的高度更近，同时它拥有与标准的主动压电隔振平台相同的地面隔振性能。

集成工具底部框架

模拟VC-C（500uin./s,12.5um/s RMS）振动测试，有效负载为1800lb（800kg）

技术规格：

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