气浮主动隔振系统

气浮主动隔振系统（基本型）

    是第一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。是对原始系统的完全重新设计，增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用（如显微光刻、检测和计量工具）的数字用户界面。
    半导体制造工具对其隔振系统提出了相互矛盾的要求。为了应对地面噪音，系统必须足够柔软，以有效地过滤地面振动，阻止其到达隔振表面。同时，系统必须足够坚硬，以应对工作台的力，以便工作台运动使隔振表面产生最小位移并能快速稳定。
    除了采用惯性、主动反馈阻尼之外，Electro-Damp II还使用信息前馈来进一步改善系统响应。前馈从工作台控制器获取关于工作台位置和加速度的信息，然后处理这些数据，以向有效载荷提供力驱动，从而大大减少了由工作台引起的有效载荷运动。系统可以以数字方式读取前馈信息，作为双极性模拟信号，或通过读取正交编码器的输出。DC-2000数字控制器还可以使用工作台测试模式自动调整前馈所需的参数。这使得在初始安装时或在更改有效载荷之后能够快速简便地进行设置。
    气浮主动隔振系统（基本型）的模块化设计允许系统单独与电子伺服阀一起使用（适用于重型、低加速度应用，如CMM）、只与电磁驱动一起使用（适用于使用高加速度的较轻工作台）或与两者结合使用（适用于最苛刻的应用）。
 
产品特性：
■ 六自由度主动减振系统
■ 非接触式电子高度控制
■ 数字控制器
■ 前馈输入校正由工作台引起的有效载荷运动
■ 高力电磁执行器可单独提供或被集成在系统中
■ 减少有效载荷运动和由工作台引起的运动的稳定时间
■ 模块化设计允许用户指定一个完整的单元或组件，以便OEM集成
■ 提高吞吐量、分辨率和产量
■ 自动调整前馈参数以减少设置
 
气浮主动隔振系统（矮型）

    气浮主动隔振系统（矮型）在精密电子定位系统基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器，气浮主动隔振系统（矮型）更易于使用，提供了更多功能，还有一个改进的用户界面。是一种用于气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。其应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
 
产品特性：
■ 数字控制，用户友好的LCD界面
■ 用于Gimbal Piston™、CSP ® 和MaxDamp ® 隔振系统的非接触式电动气动高度控制
■ Z轴位置重现性：10微米
■ 由于消除了传统机械高度控制系统的杠杆接触点，从而改善了隔振效果
■ 气动前馈功能最大限度地减少了Z轴对X-Y平台运动的反应
■ 可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
■ 可选的“VX”功能集成了惯性传感器，用于主动阻尼垂直隔振器共振
■ 与“软坞站”兼容。允许在没有运动安装的情况下加载/卸载晶圆
■ 相称的电子阀门。“开关”或传统电子阀不会产生脉冲噪声
■ 排气管用于废气的清洁处理
■ 逻辑停靠控制和状态