桌子型气浮光学平台

    在以半导体产业为代表的超精密加工领域，制造、检查、测试的精度已进入了纳米和埃米量级。准确的把握住时代需求，OS气浮式隔振桌系列为微纳振动提供隔振空间。
    我们拥有丰富的产品系列，可对应与半导体、液晶玻璃基板大口径化、基板大型化相关的检查设备大型化、重型化。
与制造检验生产线相匹配的简约设计，各种选项配件，可完美的构成整个系统。

EHS/DHS规格参数

隔振桌EHS
满足超精密检查/测试仪器隔振需求的高性能隔振桌

EHS-68(支架下部配有搁物板)

型号	EHS-68	EHS-78	EHS-87	EHS-107
隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm）	600×800 ×750	700×800 ×750	800×700 ×750	1,000×700 ×750
产品重量 （kg）	170	190	190	220
最大承载能力 (kg)	120
隔振方式	将公司的SBM专利技术与空气弹簧相结合( PAT .P/USP )
固有频率 (Hz)	垂直方向 1.6 ～ 2.2　　水平方向 1.2 ～ 1.8
台面调平	机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa
上层台板	不锈钢抛光
选项购买	盖罩，抗震固定金属夹，搁物板
其他	可在洁净室内使用(配有集中排气接头、防静电接地线) 符合RoHS指令

隔振桌DHS
DHS系列是EHS系列产品上装有盖罩的型号。操作时可不必担心碰到上浮部件。

DHS-68(支架下部配有搁物板)

型号	DHS-68	DHS-78	DHS-87	DHS-107
隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm）	650×850 ×750	750×850 ×750	850×750 ×750	1,050×750 ×750
产品重量 （kg）	175	195	195	225
最大承载能力 (kg)	120
隔振方式	将公司的SBM专利技术与空气弹簧相结合( PAT .P/USP )
固有频率 (Hz)	垂直方向 1.6 ～ 2.2　　水平方向 1.2 ～ 1.8
台面调平	机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa
上层台板	不锈钢抛光
选项购买	抗震固定金属夹，搁物板
其他	可在洁净室内使用(配有集中排气接头、防静电接地线) 符合RoHS指令

EHS/DHS特点
振动传递特性　固有频率低，能稳定有效的隔振，隔振带宽可达100Hz。

    采用公司自主知识产权的SBM结构(PAT.P/USP)，确保水平方向的低固有频率。专利技术可使水平方向的固有频率基本稳定，不受装载仪器重量的影响。
    将本公司在主动控制隔振系统独自研发的隔振技术，摆球（SBM）机构小型化，推出了新一代空气弹簧产品。采用SBM机构，可成功的抑制传统空气弹簧难以实现的旋转模态。再加上优化设计的架台，可确保至广域频率的有效隔振，使装载仪器可发挥最大的性能。

DAS/SRD/SVD规格参数

隔振桌DAS
光学显微镜/粗糙度仪等　也可适用于大载荷

DAS-68(支架下部配有搁物板)

型号	DAS-68	DAS-78	DAS-87	DAS-107
隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm）	650×850 ×750	750×850 ×750	850×750 ×750	1,050×750 ×750
产品重量 （kg）	180	200	200	230
最大承载能力 (kg)	200
隔振方式	空气弹簧
固有频率(Hz)	垂直方向及水平方向 2.0 ～ 3.0
台面调平	机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa
上浮面板	不锈钢抛光
选项购买	抗震固定金属夹，搁物板
其他	可在洁净室内使用(配有集中排气接头、防静电接地线) 符合RoHS指令

隔振桌SRD/SVD
显微镜/粗糙度仪等　简单放置

SVDA(翼板、边桌)(ED)、显示屏搁架、鼠标/键盘台

型号	SRDA	SVDA	SRDC	SVDC	SRDR
隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm）	590×720 ×715	770×720 ×715	590×720 ×715	770×720 ×715	590×720 ×715
产品重量 （kg）	70	105	70	105	70
最大承载能力 (kg)	120	200	120	200	45
隔振方式	空气弹簧				特种橡胶弹簧垫
固有频率 (Hz)	垂直方向及水平方向 2.0 ～ 3.0				垂直方向及水平方向 8.0 ～ 12.0
台面调平	机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa		手泵充气 手动调节		特种橡胶弹簧垫
上浮面板	涂塑
选项购买	SVDA(翼板、边桌(ED)、显示屏搁架、鼠标/键盘台)