ME-L 穆勒矩阵椭偏仪

产品特点：

■ 采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)；
■ 可实现穆勒矩阵数据处理，测量信息量更大，测量速度快、数据更加精准；
■ 基于双旋转补偿器配置，可一次测量获得全穆勒矩阵的16个元素，相对传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面测量信息
■ 颐光专利技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱；
■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；
■ 集成对纳米光栅的分析，可同时测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息。