磁屏蔽

    用于任何带电束仪器，是一种创新的主动控制系统，可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器，具有更实时的消振和连续监控功能，同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面（GUI）。通过连续监控GUI显示的测量字段，可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外，自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。
    可满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面最苛刻的要求。
 
产品特性：
■ 具有最大的对称性和均匀性
■ 连续现场消振和监控
■ 有多种交流和直流消振模式
■ 100倍现场改进（典型值）
■ 动态、100 μs响应
■ 精确的现场测量
■ 具有连续系统监控和分析的图形用户界面
■ 可选的线路频率和谐波的前馈补偿
■ 可选的其他输入前馈功能
■ 可选的自定义字段创建，同时抑制干扰
■ 易于组装的不锈钢笼，也可提供室内壁安装式系统
■ 可提供任何尺寸的笼系统
■ 壁安装式和外壳安装式配置包括阻燃级电缆
■ 可根据现场环境自行调整
 
性能指标：

固有频率	垂直：6.0~8.0Hz 水平：3.0~5.0Hz
隔振方式	特制结构式橡胶
保护装置	钢索、限位器、油压缓冲器
调节高度	±10mm
固定方式	螺栓固定